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滑閥式真空泵工作原理及結構圖

時間:2015-06-16 15:33來源:浙江台州三門拓展真空設備有限公 作者:廣告部 點擊:
注:(我公司生産滑閥真空泵與此原理相同但結構經更改……)

滑閥式真空泵,它的作用是抽除特定的气体或含有少部分可凝性蒸汽气体,现今广泛地使用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏、真空炼泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的超碰97资源站与研制中。滑閥式真空泵工作原理是利用滑閥机构来改变吸气腔容积的,所以称之为滑閥泵

滑閥式真空泵的工作原理:

滑閥式真空泵主要由泵体及内部作偏心转动的滑閥、半圆形的滑閥导轨、排气阀、轴等部分组成(见右图)。
泵体中装有滑閥环(4),滑閥环内装有偏心轮(3),偏心轮固定在轴(2)上,轴与泵体中心线相重合。
在滑閥环上装有长方形的滑閥杆(5),它能在半圆形滑閥导轨(7)中上下滑动及左右摆动,因此泵腔被滑閥环和滑閥杆分隔成a、b两室。
泵在運轉過程中,由于a、b兩室容積周期性地改變,使被抽氣體不斷進入逐漸增大容積的吸氣腔;同時,在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮,並通過排氣閥排出泵外。

双级型的滑閥泵,实际上是由两个单级泵串联起来的。它的高、低真空室在同一泵体上,有的是直接铸成一个整体,有的是压入中隔板把泵腔分成高、低两室。 滑閥式真空泵由于它的结构特点,一般分为单级泵和双级泵两种,但也有有立式和卧式两种结构形式。随着现今科技的发展,滑閥式机械真空泵也受到了较大的改革,它的使用也更加的使用与方便。进一步研究它的工作原理对于之后相关方面技术的改进和提升势必有益。
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