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真空泵

羅茨真空泵機組的前级泵的选择方法

時間:2017-08-05 14:12來源:網絡整理非公司發表 作者:網文寫手 點擊:
羅茨真空泵不能單獨使用,必須配上前級泵組成機組,使用前級真空泵是爲了降低羅茨真空泵的排出壓力,由于羅茨真空泵的压缩比是有限的,所以选择前级真空泵的抽速是重要的,如右图表明,羅茨真空泵的最大压缩比是随排出压力而变化的,在高排出压力下,最大压缩比最多大3:1,而最高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达50:1,甚至更高些。

因此,选择前级泵的抽速,要根据羅茨真空泵的长期工作压力范围考虑。

例如有一系统用羅茨真空泵機組抽气,要求在1 mbar入口压力时有600升/秒的抽速,并长期工作,问应选择多大抽速的前级泵。

先假定用30升/秒的前级泵时,压缩比K=600:30=20从上图查得K=20时最大排出压力为30 mbar。

由此得出,当选用30升/秒前级泵时,在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。

另外应当考虑的是,对预抽时间的要求问题,如果正常工作时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵;假如真空室较大,而且要求很快预抽,就要用较大的前级泵,有时为了更好发挥设备的效率,機組装有较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。

对羅茨真空泵機組的极限压力的要求,也是选择前级泵的必须考虑的,对极限真空度要求较高(达1X10-3Pa~1X10-2Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑閥機械泵作爲前級泵。極限真空度要求在(1X10-2Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作爲前級泵,極限真空度要求在133~1333Pa之間可選用往複式真空泵或液環式真空泵作爲前級泵。

当选用往复式或液环式粗真空泵作为羅茨真空泵的前级泵时,前级泵的抽速一般为羅茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,否则将使压缩比过大,造成羅茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。

選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質,是否含有可凝性氣體,是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體,就不能選用油封機械泵,油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體,否則將會使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時,也必須采用帶有氣鎮裝置的油封機械泵作爲前級泵。

为了获得在低入口压力(1~100pa)时的高的抽气速率,可用一台羅茨真空泵作为另一台羅茨真空泵的前级泵组成的三级或四级機組,此时羅茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。

通常,選配前級泵的原則如下:

1、要求前級泵造成主泵工作所需的預真空條件。


2、主泵允許的最大排氣壓力下,前級泵必須將主泵所排出的最大氣體量及時排走,前級泵的抽速須按照該泵在實際入口壓力時的實際抽速。



3、兼作預抽泵的前級泵要滿足預抽時間和預抽真空度的要求。
(責任編輯:admin)
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